Digital
digitale Durchflussregler
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LF-F/LV-F Serie | Digitale Massenflussregler für Flüssigkeiten
LF-F und LV-F Serie sind digitale Massenflussregler für Flüssigkeiten mit einem Peltier Element, das die Flüssigkeit abkühlt anstatt die üblichere Methode der thermischen Erwärmung zu verwenden. Diese Technik eliminiert das Risiko von siedenden Chemikalien mit niedrigem Siedepunkt und ermöglicht so eine bessere Kontrolle der Chemikalien.
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SEC-8000 F-D-E Serie | Digitaler Hochtemperatur-Massenflussregler
The SEC-8000F/D/E Serie kann in Hochtemperaturumgebungen von 15°C bis 120°C für eine Vielzahl von Aufgaben betrieben werden, einschließlich der Halbleiter- und Verbindungshalbleiterverarbeitung.
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SEC-N100 Serie | Digitaler Massenflussregler
Die SEC-N100-Serie eignet sich für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen. Dieser Massendurchflussregler kann einen weiten Bereich von Durchflüssen steuern: von 10 SCCM bis 1000 SLM. Für die SEC-N100-Serie stehen auch verschiedene Arten der Kommunikation zur Verfügung, z. B. Digital / Analog, DeviceNet ™, CC-Link®, PROFIBUS ™ und EtherCAT®. Die SEC-N100-Serie bietet eine hohe Genauigkeit (+/- 1,0% S.P. * 1) und ein schnelles Ansprechverhalten. Dieser Massendurchflussregler verfügt außerdem über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die die Kostensenkungsmöglichkeiten in Ihrem Prozess hervorhebt.
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SEC-R100 Serie | Digitale Massendurchflussregler
Der digitale Massendurchflussregler SEC-R100 konzentriert sich auf Nicht-Halbleiteranwendungen, bei denen ein hohes Maß an Leistung, Qualität und Produktintegrität erforderlich ist, z. B. Vakuumbeschichtung, Bioreaktor, Lebensmittel und Getränke, Analyse usw.
Mit diesem Massendurchflussregler erhalten Sie eine hohe Genauigkeit (+/- 1,0% S.P.) und Leistung ohne hohe Kosten. Außerdem kann die Multi-Gas / Multi-Range-Funktion für die neun beliebtesten Gase verwendet werden.
Digitale (PROFIBUS) / analoge Kommunikation und 24-VDC-Stromversorgung sind verfügbar. -
SEC-Z500X | Digitaler Massendurchflussregler mit mehreren Entfernungen / mehreren Gasen
Dies ist das meistverkaufte Modell von HORIBA für digitale Massendurchflussregler. Es verfügt über Multi-Range- / Multi-Gas-Funktionen, mit denen Benutzer die Art des Gases oder den vollen Durchfluss vor Ort schnell und einfach ändern können.
Mit einer hohen Genauigkeit von +/- 1,0% S.P., einem Piezoaktorventil, einer hohen Drehzahl und einem Ganzmetall ist dieser Massendurchflussregler zur Verbesserung der Prozessausbeute und zur Vereinfachung des Teilemanagements geeignet. Digital / Analog-, DeviceNet ™ – und EtherCAT®-Kommunikation sind verfügbar. -
XF-100 Serie | Digitale Flüssigkeits-Massendurchflussmesser
Der digitale Flüssigkeitsmassendurchflussmesser der XF-Serie verwendet das Differenzdruckmessverfahren, um ein Hochgeschwindigkeitsverhalten von 100 ms (oder weniger als 0,8 s in Kombination mit einem Piezoventil) zu erzielen.