Messgeräte Mass Flow Controller
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CRITERION D500 | Druckunempfindliches Massendurchflussmodul
19,90€ iva esclusa Add to cartDieses druckunempfindliche Massendurchflussmodul an der Vorderkante ist mit einer Differenzdruckerkennung und einem Piezoaktuatorventil ausgestattet.
Die hohe Leistung des CRITERION D500 stellt sicher, dass er für eine Reihe fortschrittlicher Halbleiterfertigungsprozesse verwendet werden kann. druckunempfindlich, Multi-Range / Multi-Gas / Multi-Pressure, G-LIFE (Gasgesetzprüfung der Gleichung für integrierte Durchflussbegrenzer) Selbstdiagnosefunktion, hohe Genauigkeit, schnelle Reaktion, große Reichweite und Ganzmetall. -
LF-F/LV-F Serie | Digitale Massenflussregler für Flüssigkeiten
19,90€ iva esclusa Add to cartLF-F und LV-F Serie sind digitale Massenflussregler für Flüssigkeiten mit einem Peltier Element, das die Flüssigkeit abkühlt anstatt die üblichere Methode der thermischen Erwärmung zu verwenden. Diese Technik eliminiert das Risiko von siedenden Chemikalien mit niedrigem Siedepunkt und ermöglicht so eine bessere Kontrolle der Chemikalien.
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PV Series
19,90€ iva esclusa Add to cartDie Piezoaktorventil-PV-Serie besteht aus Piezoaktuatoren mit Metallmembranen und Metall-O-Ringen. In Kombination mit einem Drucksensor oder Durchflusssensor und einer Übersetzungssteuereinheit (PCU-Serie) können Sie mit der Piezo Actuator Valve PV-Serie eine Druckregelung oder eine Durchflussregelung erstellen.
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SEC-400 Series | Massendurchflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cart -
SEC-8000 F-D-E Serie | Digitaler Hochtemperatur-Massenflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartThe SEC-8000F/D/E Serie kann in Hochtemperaturumgebungen von 15°C bis 120°C für eine Vielzahl von Aufgaben betrieben werden, einschließlich der Halbleiter- und Verbindungshalbleiterverarbeitung.
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SEC-E Series | Massendurchflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartDieser Allzweck-Massendurchflussregler verfügt über einen zuverlässigen Wärmesensor und ein Magnetventil, mit denen Sie den Gasfluss auf hohem Niveau steuern können. Als vielseitige Komponente kann die Serie sec-e des Massendurchflussreglers in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden.
Der Gasfluss durch den Massendurchflussregler kann über einen Bereich von Strömen gesteuert werden: von 10 SCCM bis 200 SLM. -
SEC-E Series | Massendurchflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartDieser Allzweck-Massendurchflussregler verfügt über einen zuverlässigen Wärmesensor und ein Magnetventil, mit denen Sie den Gasfluss auf hohem Niveau steuern können. Als vielseitige Komponente kann die Serie sec-e des Massendurchflussreglers in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden.
Der Gasfluss durch den Massendurchflussregler kann über einen Bereich von Strömen gesteuert werden: von 10 SCCM bis 200 SLM. -
SEC-N100 Serie | Digitaler Massenflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartDie SEC-N100-Serie eignet sich für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen. Dieser Massendurchflussregler kann einen weiten Bereich von Durchflüssen steuern: von 10 SCCM bis 1000 SLM. Für die SEC-N100-Serie stehen auch verschiedene Arten der Kommunikation zur Verfügung, z. B. Digital / Analog, DeviceNet ™, CC-Link®, PROFIBUS ™ und EtherCAT®. Die SEC-N100-Serie bietet eine hohe Genauigkeit (+/- 1,0% S.P. * 1) und ein schnelles Ansprechverhalten. Dieser Massendurchflussregler verfügt außerdem über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die die Kostensenkungsmöglichkeiten in Ihrem Prozess hervorhebt.
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SEC-R100 Serie | Digitale Massendurchflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartDer digitale Massendurchflussregler SEC-R100 konzentriert sich auf Nicht-Halbleiteranwendungen, bei denen ein hohes Maß an Leistung, Qualität und Produktintegrität erforderlich ist, z. B. Vakuumbeschichtung, Bioreaktor, Lebensmittel und Getränke, Analyse usw.
Mit diesem Massendurchflussregler erhalten Sie eine hohe Genauigkeit (+/- 1,0% S.P.) und Leistung ohne hohe Kosten. Außerdem kann die Multi-Gas / Multi-Range-Funktion für die neun beliebtesten Gase verwendet werden.
Digitale (PROFIBUS) / analoge Kommunikation und 24-VDC-Stromversorgung sind verfügbar. -
SEC-Z500X | Digitaler Massendurchflussregler mit mehreren Entfernungen / mehreren Gasen
19,90€ iva esclusa Add to cartDies ist das meistverkaufte Modell von HORIBA für digitale Massendurchflussregler. Es verfügt über Multi-Range- / Multi-Gas-Funktionen, mit denen Benutzer die Art des Gases oder den vollen Durchfluss vor Ort schnell und einfach ändern können.
Mit einer hohen Genauigkeit von +/- 1,0% S.P., einem Piezoaktorventil, einer hohen Drehzahl und einem Ganzmetall ist dieser Massendurchflussregler zur Verbesserung der Prozessausbeute und zur Vereinfachung des Teilemanagements geeignet. Digital / Analog-, DeviceNet ™ – und EtherCAT®-Kommunikation sind verfügbar. -
SEC-Z700X Series | Druckunempfindlicher Massendurchflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartDie SEC-Z700X-Serie ist mit zuverlässigen Wärmesensoren und einer druckunempfindlichen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die On-Board-Druckmessung reduziert die Kosten, Größe und Komplexität von Gasversorgungssystemen.
Druckunempfindlich
Eine neue Hochleistungsfunktion sorgt für ein vereinfachtes Gasversorgungssystem. Typische Mehrkammergasleitungen haben einen Leitungsregler, einen Drucksensor und einen Filter, um ein durch Druckschwankungen verursachtes Übersprechen des Massendurchflussreglers zu vermeiden. Die SEC-Z700X-Serie verfügt über ein hohes Maß an Stabilität und steuert den Gasfluss, ohne die Druckschwankungen vor und nach dem Gerät zu beeinflussen. Durchfluss-, Temperatur- und Druckwerte werden bereitgestellt. -
Steuereinheit und Zubehör
19,90€ iva esclusa Add to cartGroße Auswahl an Adapterkabeln und Wandlern, Steuer- und Verwaltungseinheiten (Sollwert / Messwert) für Massendurchflussregler
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XF-100 Serie | Digitale Flüssigkeits-Massendurchflussmesser
19,90€ iva esclusa Add to cartDer digitale Flüssigkeitsmassendurchflussmesser der XF-Serie verwendet das Differenzdruckmessverfahren, um ein Hochgeschwindigkeitsverhalten von 100 ms (oder weniger als 0,8 s in Kombination mit einem Piezoventil) zu erzielen.
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