Pressure Insensitive
Instrumente für die Unabhängige Druckregelung
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CRITERION D500 | Druckunempfindliches Massendurchflussmodul
19,90€ iva esclusa Add to cartDieses druckunempfindliche Massendurchflussmodul an der Vorderkante ist mit einer Differenzdruckerkennung und einem Piezoaktuatorventil ausgestattet.
Die hohe Leistung des CRITERION D500 stellt sicher, dass er für eine Reihe fortschrittlicher Halbleiterfertigungsprozesse verwendet werden kann. druckunempfindlich, Multi-Range / Multi-Gas / Multi-Pressure, G-LIFE (Gasgesetzprüfung der Gleichung für integrierte Durchflussbegrenzer) Selbstdiagnosefunktion, hohe Genauigkeit, schnelle Reaktion, große Reichweite und Ganzmetall. -
SEC-Z700X Series | Druckunempfindlicher Massendurchflussregler
19,90€ iva esclusa Add to cartDie SEC-Z700X-Serie ist mit zuverlässigen Wärmesensoren und einer druckunempfindlichen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die On-Board-Druckmessung reduziert die Kosten, Größe und Komplexität von Gasversorgungssystemen.
Druckunempfindlich
Eine neue Hochleistungsfunktion sorgt für ein vereinfachtes Gasversorgungssystem. Typische Mehrkammergasleitungen haben einen Leitungsregler, einen Drucksensor und einen Filter, um ein durch Druckschwankungen verursachtes Übersprechen des Massendurchflussreglers zu vermeiden. Die SEC-Z700X-Serie verfügt über ein hohes Maß an Stabilität und steuert den Gasfluss, ohne die Druckschwankungen vor und nach dem Gerät zu beeinflussen. Durchfluss-, Temperatur- und Druckwerte werden bereitgestellt.
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