Messgeräte Mass Flow Controller

LF-F und LV-F Serie sind digitale Massenflussregler für Flüssigkeiten mit einem Peltier Element, das die Flüssigkeit abkühlt anstatt die üblichere Methode der thermischen Erwärmung zu verwenden. Diese Technik eliminiert das Risiko von siedenden Chemikalien mit niedrigem Siedepunkt und ermöglicht so eine bessere Kontrolle der Chemikalien.

The SEC-8000F/D/E Serie kann in Hochtemperaturumgebungen von 15°C bis 120°C für eine Vielzahl von Aufgaben betrieben werden, einschließlich der Halbleiter- und Verbindungshalbleiterverarbeitung.

Die SEC-N100-Serie eignet sich für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen. Dieser Massendurchflussregler kann einen weiten Bereich von Durchflüssen steuern: von 10 SCCM bis 1000 SLM. Für die SEC-N100-Serie stehen auch verschiedene Arten der Kommunikation zur Verfügung, z. B. Digital / Analog, DeviceNet ™, CC-Link®, PROFIBUS ™ und EtherCAT®. Die SEC-N100-Serie bietet eine hohe Genauigkeit (+/- 1,0% S.P. * 1) und ein schnelles Ansprechverhalten. Dieser Massendurchflussregler verfügt außerdem über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die die Kostensenkungsmöglichkeiten in Ihrem Prozess hervorhebt.

Der digitale Massendurchflussregler SEC-R100 konzentriert sich auf Nicht-Halbleiteranwendungen, bei denen ein hohes Maß an Leistung, Qualität und Produktintegrität erforderlich ist, z. B. Vakuumbeschichtung, Bioreaktor, Lebensmittel und Getränke, Analyse usw.
Mit diesem Massendurchflussregler erhalten Sie eine hohe Genauigkeit (+/- 1,0% S.P.) und Leistung ohne hohe Kosten. Außerdem kann die Multi-Gas / Multi-Range-Funktion für die neun beliebtesten Gase verwendet werden.
Digitale (PROFIBUS) / analoge Kommunikation und 24-VDC-Stromversorgung sind verfügbar.

Der digitale Flüssigkeitsmassendurchflussmesser der XF-Serie verwendet das Differenzdruckmessverfahren, um ein Hochgeschwindigkeitsverhalten von 100 ms (oder weniger als 0,8 s in Kombination mit einem Piezoventil) zu erzielen.