CRITERION D500 | Druckunempfindliches Massendurchflussmodul
19,90€ iva esclusa
Dieses druckunempfindliche Massendurchflussmodul an der Vorderkante ist mit einer Differenzdruckerkennung und einem Piezoaktuatorventil ausgestattet.
Die hohe Leistung des CRITERION D500 stellt sicher, dass er für eine Reihe fortschrittlicher Halbleiterfertigungsprozesse verwendet werden kann. druckunempfindlich, Multi-Range / Multi-Gas / Multi-Pressure, G-LIFE (Gasgesetzprüfung der Gleichung für integrierte Durchflussbegrenzer) Selbstdiagnosefunktion, hohe Genauigkeit, schnelle Reaktion, große Reichweite und Ganzmetall.